Sekundārā gaisa atgriešanas shēma gaisa kondicionēšanas sistēmai

Mikroelektroniskā darbnīca ar salīdzinoši nelielu tīras telpas platību un ierobežotu atgaitas gaisa vadu rādiusu izmantoja gaisa kondicionēšanas sistēmas sekundārās atgaitas gaisa shēmas pieņemšanai. Šo shēmu plaši izmanto arītīras telpascitās nozarēs, piemēram, farmācijā un medicīniskajā aprūpē. Tā kā ventilācijas tilpums, kas atbilst tīras telpas temperatūras mitruma prasībām, parasti ir daudz mazāks par ventilācijas tilpumu, kas nepieciešams, lai sasniegtu tīrības līmeni, tāpēc temperatūras starpība starp pieplūdes un atgaitas gaisu ir neliela. Ja tiek izmantota primārā atgaitas gaisa shēma, temperatūras starpība starp pieplūdes gaisa stāvokļa punktu un gaisa kondicionēšanas iekārtas rasas punktu ir liela, ir nepieciešama sekundārā apkure, kā rezultātā gaisa apstrādes procesā rodas aukstā siltuma nobīde un lielāks enerģijas patēriņš. . Ja tiek izmantota sekundārā atgaitas gaisa shēma, sekundāro atgaitas gaisu var izmantot, lai aizstātu primārā atgaitas gaisa shēmas sekundāro sildīšanu. Lai gan primārā un sekundārā atgaitas gaisa attiecības regulēšana ir nedaudz mazāk jutīga nekā sekundārā siltuma regulēšana, sekundārā atgaitas gaisa shēma ir plaši atzīta kā gaisa kondicionēšanas enerģijas taupīšanas pasākums mazos un vidējos mikroelektronikas tīrās darbnīcās. .

Kā piemēru ņemiet ISO 6. klases mikroelektronikas tīro darbnīcu, tīrās darbnīcas platība 1000 m2, griestu augstums 3 m. Interjera dizaina parametri ir temperatūra tn= (23±1) ℃, relatīvais mitrums φn=50%±5%; Projektētais gaisa padeves apjoms ir 171 000 m3/h, aptuveni 57 h-1 gaisa apmaiņas reizes, un svaigā gaisa apjoms ir 25 500 m3/h (no kuriem procesa izplūdes gaisa apjoms ir 21 000 m3/h, bet pārējais ir pozitīvā spiediena noplūdes gaisa tilpums). Saprātīgā siltuma slodze tīrajā cehā ir 258 kW (258 W/m2), gaisa kondicionētāja siltuma/mitruma attiecība ir ε=35 000 kJ/kg, un telpas atgaitas gaisa temperatūras starpība ir 4,5 ℃. Šajā laikā primārais atgaitas gaisa apjoms
Šis šobrīd ir visbiežāk izmantotais attīrīšanas gaisa kondicionēšanas sistēmas veids mikroelektronikas nozares tīrajā telpā, šāda veida sistēmas galvenokārt var iedalīt trīs veidos: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (sausā spole) +FFU. Katrai no tām ir savas priekšrocības un trūkumi, kā arī piemērotas vietas, enerģijas taupīšanas efekts galvenokārt ir atkarīgs no filtra un ventilatora un cita aprīkojuma veiktspējas.

1) AHU+FFU sistēma.

Šāda veida sistēmas režīms tiek izmantots mikroelektronikas nozarē kā "gaisa kondicionēšanas un attīrīšanas fāzes atdalīšanas veids". Var būt divas situācijas: viena ir tāda, ka gaisa kondicionēšanas sistēma darbojas tikai ar svaigu gaisu, un apstrādātais svaigais gaiss uzņemas visu tīrās telpas siltuma un mitruma slodzi un darbojas kā papildu gaiss, lai līdzsvarotu izplūdes gaisu un pozitīvā spiediena noplūdi. no tīrās telpas šo sistēmu sauc arī par MAU+FFU sistēmu; Otrs ir tas, ka ar svaigā gaisa daudzumu vien nepietiek, lai apmierinātu tīrās telpas aukstuma un siltuma slodzes vajadzības, vai arī tāpēc, ka svaigais gaiss tiek apstrādāts no āra stāvokļa līdz rasas punktam nepieciešamās iekārtas entalpijas starpība ir pārāk liela. , un daļa no iekštelpu gaisa (ekvivalents atgaitas gaisam) tiek atgriezta gaisa kondicionēšanas apstrādes blokā, sajaukta ar svaigo gaisu siltuma un mitruma apstrādei un pēc tam nosūtīta uz gaisa padeves kameru. Sajaukts ar atlikušo tīrās telpas atgaitas gaisu (ekvivalents sekundārajam atgaitas gaisam), tas nonāk FFU blokā un pēc tam nosūta to tīrajā telpā. No 1992. līdz 1994. gadam šī darba otrais autors sadarbojās ar Singapūras uzņēmumu un vadīja vairāk nekā 10 maģistrantus piedalīties ASV un Honkongas kopuzņēmuma SAE Electronics Factory projektēšanā, kurā tika pieņemts pēdējais gaisa kondicionēšanas attīrīšanas veids un ventilācijas sistēma. Projektā ir ISO 5. klases tīrā telpa aptuveni 6000 m2 platībā (no kurām 1500 m2 noslēdza Japānas Atmosfēras aģentūra). Gaisa kondicionēšanas telpa ir izvietota paralēli tīrās telpas pusei gar ārējo sienu un tikai blakus koridoram. Svaiga gaisa, izplūdes gaisa un atgaitas gaisa caurules ir īsas un sakārtotas gludi.

2) MAU+AHU+FFU shēma.

Šāds risinājums parasti ir atrodams mikroelektronikas ražotnēs ar vairākām temperatūras un mitruma prasībām un lielām siltuma un mitruma slodzes atšķirībām, un arī tīrības līmenis ir augsts. Vasarā svaigais gaiss tiek atdzesēts un sausināts līdz noteiktam parametra punktam. Parasti ir lietderīgi svaigu gaisu apstrādāt līdz izometriskās entalpijas līnijas un 95% relatīvā mitruma līnijas krustpunktam tīrā telpā ar reprezentatīvu temperatūru un mitrumu vai tīru telpu ar lielāko svaigā gaisa daudzumu. MAU gaisa tilpums tiek noteikts atbilstoši katras tīrās telpas vajadzībām, lai papildinātu gaisu, un tiek sadalīts katras tīrās telpas AHU ar caurulēm atbilstoši vajadzīgajam svaigā gaisa daudzumam, un tiek sajaukts ar nelielu iekštelpu atgriezes gaisu siltuma iegūšanai. un mitruma apstrāde. Šī iekārta sedz visu siltuma un mitruma slodzi, kā arī daļu no jaunās reimatisma slodzes tīrajā telpā, kurā tā apkalpo. Katras gaisa apstrādes iekārtas apstrādātais gaiss tiek nosūtīts uz pieplūdes gaisa kameru katrā tīrajā telpā, un pēc otrreizējās sajaukšanas ar iekštelpu atgaitas gaisu to nosūta telpā FFU iekārta.

MAU+AHU+FFU risinājuma galvenā priekšrocība ir tā, ka papildus tīrības un pozitīva spiediena nodrošināšanai tas nodrošina arī dažādas temperatūras un relatīvo mitrumu, kas nepieciešams katra tīrās telpas procesa ražošanai. Tomēr bieži uzstādīto gaisa apstrādes iekārtu skaita dēļ telpas platība ir liela, tīrs gaiss telpā ir svaigs gaiss, atplūdes gaiss, gaisa padeves cauruļvadi krustojas, aizņem lielu vietu, izkārtojums ir apgrūtinošāks, apkope un vadība ir grūtāka. un sarežģīti, tāpēc, cik vien iespējams, nav īpašu prasību, lai izvairītos no lietošanas.